8617729330137
yanggang@cljzmet.com
roLimba
Țintă de pulverizare cu zirconiu

Țintă de pulverizare cu zirconiu

Țintele de pulverizare cu zirconiu vin de obicei în diferite dimensiuni, în funcție de aplicație, compatibilitatea echipamentelor și procesul de fabricație. Sunt disponibile următoarele intervale de dimensiuni standardizate și personalizate: Ținte circulare de zirconiu (dimensiune principală) Diametru: 2 inchi (50,8 mm) — Dimensiune minimă utilizată în mod obișnuit, potrivită pentru echipamente experimentale mici și sisteme de acoperire de precizie 3 inchi (76,2 mm) — Dimensiune standard în industria semiconductoarelor și a acoperirii optice, utilizată pe scară largă în echipamentele de magnetron de 4 mm. pentru producția industrială în masă, echilibrarea eficienței și costurilor 6 inchi (152,4 mm) — Folosit în mod obișnuit în producția de-performanță mare, potrivit pentru nevoile de acoperire cu suprafețe mari{-200 mm – φ600 mm — Opțiuni de personalizare de dimensiuni mari- acceptate, adesea utilizate în domenii specializate, cum ar fi energia solară și panouri de afișare, cea mai obișnuită gamă de grosime 10 mm – 3 mm. echilibrând utilizarea materialului și uniformitatea pulverizării.12 mm – 40 mm — Pentru aplicații de-putere mare sau de-durată lungă-, cum ar fi sisteme de cercetare-de producție continuă sau de producție continuă. Ținte dreptunghiulare/plane Interval de dimensiuni: 100 mm × 30 mm — Ținte dreptunghiulare mici utilizate în mod obișnuit în cercetarea în laborator de 1050 mm × 1050 mm. mm — Ținte plane de calitate industrială, potrivite pentru echipamente PVD mari. Grosimea: de obicei 5 mm – 15 mm, ajustată în funcție de dimensiunea substratului și cerințele de uniformitate a pulverizării. Personalizare disponibilă conform desenelor, inclusiv: contururi neregulate (inel, elipsă, în formă de evantai) (grosimi speciale)<2 mm ultra-thin targets or >Ținte cu grosimea de 50 mm) Tratamente de suprafață (finis lucios, finisaj spălat cu acid, Ra1,6μm lustruit)
Trimite anchetă
Descriere
Zirconium Sputtering Target

Nume produs: țintă de pulverizare cu zirconiu

Grad material: Zr702 (ASTM B493 grad R60702)

Grad de puritate: 99,95% (3N5) ​​pe bază de metal-(fără Hf-)

Aplicații de bază: Ambalare avansată a semiconductorilor, acoperire optică, electrod din spate pentru celule solare, strat de interconectare microelectronic (proces PVD)

Standarde de fabricație: Conform ASTM B493/B493M-14 (Specificații pentru forjare cu zirconiu și aliaje de zirconiu) și SEMI M13-1102 (Specificație generală pentru ținte de pulverizare)

Densitatea teoretică a țintei de pulverizare cu zirconiu este de 6,51 g/cm³, densitatea sa este mai mare sau egală cu 99,0%, conductivitatea sa termică este de 22,6 W/m·K, iar coeficientul său de dilatare termică (20–300 grade) este 5,7 × 100 /K⁻⁶⁻⁶ Acești parametri sunt valori măsurate pentru ținte Zr702 cu puritate înaltă-în starea de recoacere standard, potrivite pentru aplicații de pulverizare cu magnetron DC/RF de putere mare-și prezintă o stabilitate termică superioară materialelor cu puritate de 99,9%.

Calitatea suprafeței produsului și cerințele de microstructură:

Dimensiunea granulelor: Mai mică sau egală cu 50 μm (medie), măsurată prin EBSD (Difracție de retrodifuzare a electronilor), cu o abatere standard a distribuției granulometriei Mai mică sau egală cu 15 μm.

Rugozitatea suprafeței (Ra): mai mică sau egală cu 0,8 μm, măsurată cu un profilometru optic 3D (ISO 4287), fără zgârieturi, adâncituri și gropi.

Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 mm² este respins.

Microstructură: structură de fază -echiaxială uniformă. SEM (mărire 500×), fără pori, incluziuni și segregare.

Toate țintele sunt densificate prin presare izostatică la cald (HIP) pentru a asigura o rezistență a legăturii la granițele mai mare sau egală cu 180 MPa, îndeplinind cerința fără eșec de delaminare după mai mare sau egală cu 500 de ore de pulverizare continuă.

High-purity Zr702 sputtering target

 

 

Specificații de ambalare și livrare pentru ținta de pulverizare cu zirconiu (conform GHS și IEC):

Ambalaj interior: sigilat sub vid (mai puțin sau egal cu 1×10⁻³ mbar) + umplut cu argon de înaltă puritate-(99,999%), conform ASTM F2095.

Ambalaj exterior: pungă din folie de aluminiu rezistentă la umezeală-dublu{0}}strat- + spumă de amortizare EPE + ladă din lemn (conform ISPM-15), IEC 60068-2-78.

Etichetă de protecție împotriva umidității: umiditate-protecție + card indicator de umiditate (mai puțin sau egal cu 5% RH), conform cu IEC 60068-2-30.

FDS/SDS: Conform cu a 7-a revizuire a GHS, care conține 16 secțiuni standard, inclusiv riscurile de explozie a prafului Zr (P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200. Etichetă de expediere: ONU 1399 (metal solid ne-inflamabil) + substanțe corozive.

Fiecare cutie include un pachet de desicant (silicagel) și un înregistrator de umiditate. Controlul temperaturii pe tot parcursul transportului: 5–30 grade, umiditate relativă mai mică sau egală cu 40%.

FAQ

Î: Puteți furniza studii de caz tipice pentru clienți despre Zirconium Sputtering Target?

R: Primii zece producători de semiconductori din lume, inclusiv TSMC, Samsung Electronics, Intel și SK Hynix, sunt toți utilizatori finali-indirecti ai țintelor de zirconiu. Procesele lor avansate (cum ar fi nodurile sub 5 nm) utilizează pe scară largă ținte Zr702 pentru straturi de barieră metalice, straturi de pasivare a interfeței și structuri de interconectare, depozitate folosind echipamente PVD, cum ar fi Applied Materials Endura® și Lam Research Kiyo®. Țintele de zirconiu sunt astfel încorporate ca materiale funcționale cheie în procesele lor de producție în masă.

Companiile internaționale de top din industria fotovoltaică și de afișare, cum ar fi LG Display, Samsung Display și First Solar, folosesc ținte de zirconiu de înaltă puritate-în acoperirea cu electrozi a panoului OLED și în fabricarea electrozilor din spate pentru celule solare CIGS pentru a obține o-rezistență scăzută,-stabilitate ridicată a depunerilor de pelicule subțiri de metal, satisfacând cerințele unei zone de{3}4}uniformități mari de{3}4}.

Companiile de producție de ultimă generație din industria aerospațială și de apărare, inclusiv Lockheed Martin, Boeing și Northrop Grumman, folosesc ținte de zirconiu pentru depunerea PVD a acoperirilor rezistente la temperatură înaltă, la coroziune-, aplicate componentelor motoarelor, sistemelor de protecție termică și structurilor ascunse radar. Standardele lor de achiziții sunt stricte, necesitând conformitatea cu certificarea AS9100D și trasabilitatea COA a lotului.

Î: Acceptați scrisori de credit bancar?

R: Da, acceptăm scrisori de credit (L/C) ca metodă de plată pentru cumpărături. Vă rugăm să rămâneți în legătură.

Î: Țintele de pulverizare cu zirconiu sunt în general certificate de ISO 9001, IATF 16949 și AS9100?

R: Da, în domeniul țintelor de pulverizare cu zirconiu pentru aplicații industriale și de ultimă generație-, certificările ISO 9001, IATF 16949 și AS9100D au devenit standarde de intrare universale și obligatorii.

 

 

 

 

Tag-uri populare: țintă de pulverizare cu zirconiu, China, producători, furnizori, fabrică de ținte pentru pulverizare cu zirconiu

S-ar putea sa-ti placa si

Zirconiu pur și sârmă de zirconiu din aliaj
Zirconiu pur și sârmă de zirconiu din aliaj
Piese de procesare a zirconiului industrial
Piese de procesare a zirconiului industrial
Material țintă de crom
Material țintă de crom
Conductă sudată de zirconi și aliaj de zirconiu
Conductă sudată de zirconi și aliaj de zirconiu
Tije de zirconiu și tije din aliaj de zirconiu
Tije de zirconiu și tije din aliaj de zirconiu
R60702 Tijă de zirconiu
R60702 Tijă de zirconiu